A63.7080, A63.7081 Software Hoofdfunctie: | ||
Hoogspanning geïntegreerde inbedrijfstelling | Automatisch filament aan/uit | Potentiële ploegenregeling |
Helderheidsaanpassing | Elektrisch naar centraal verstelling | Automatische helderheid |
Contrastaanpassing | Objectief aanpassing | Autofocus |
Vergrotingsaanpassing | Objectieve demagnetisering | Automatische eliminatie van astigmatisme |
Scanmodus voor geselecteerde gebieden | Elektrische rotatieverstelling | Beheer van microscoopparameters |
Punt scanmodus | Aanpassing elektronenstraalverplaatsing | Realtime weergave van scanveldgrootte |
Lijnscanmodus: | Aanpassing van de kanteling van de elektronenstraal | Pistool lens aanpassing |
Oppervlakte scannen | Aanpassing scansnelheid | Meerkanaals ingang |
Bewaking van hoogspanningsvermogen | Swing centreren | Liniaal meting |
SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
Oplossing | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV (BSE) |
1.5nm@30KV (SE) 3nm@30KV (BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV (BSE) |
Vergroting | 8x~300000x Negatieve Ware Vergroting | 8x~800000x Negatieve Ware Vergroting | 6x~1000000x Negatieve Ware Vergroting |
Elektronenkanon | Pre-gecentreerde wolfraam filament cartridge | Schottky veldemissiekanon | Schottky veldemissiekanon |
Spanning | Versnellingsspanning 0~30KV, continu instelbaar, stap aanpassen 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
Snelle kijk | Eén toets Quick View Image-functie | Nvt | Nvt |
Lenssysteem | Elektromagnetische taps toelopende lens met drie niveaus | Elektromagnetische taps toelopende lens met meerdere niveaus | |
Opening | 3 objectiefopeningen van molybdeen, verstelbaar buiten het vacuümsysteem, het is niet nodig om het objectief te demonteren om het diafragma te veranderen | ||
Vacuüm systeem | 1 moleculaire turbopomp 1 mechanische pomp Sample Room Vacuüm>2.6E-3Pa Elektronenkanonkamervacuüm>2.6E-3Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie: Optioneel model: A63.7069-LV 1 moleculaire turbopomp 2Mechanische pompen Sample Room Vacuüm>2.6E-3Pa Elektronenkanonkamervacuüm>2.6E-3Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie: Laag vacuümBereik 10 ~ 270 Pa voor snel schakelen in 90 seconden voor BSE (LV) |
1 ionenpompset 1 moleculaire turbopomp 1 mechanische pomp Sample Room Vacuüm>6E-4Pa Elektronenpistoolkamervacuüm>2E-7 Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie: |
1 sputter-ionenpomp 1 Getter-ionenverbindingspomp 1 moleculaire turbopomp 1 mechanische pomp Sample Room Vacuüm>6E-4Pa Elektronenpistoolkamervacuüm>2E-7 Pa Volledig automatische vacuümregeling Vacuümvergrendelingsfunctie: |
Detector | SE: Hoogvacuüm secundaire elektronendetector (met detectorbescherming) | SE: Hoogvacuüm secundaire elektronendetector (met detectorbescherming) | SE: Hoogvacuüm secundaire elektronendetector (met detectorbescherming) |
BSE: Halfgeleider 4 Segmentatie Terugverstrooiingsdetector Optioneel model: A63.7069-LV BSE(LV): Halfgeleider 4 Segmentatie Terugverstrooiingsdetector |
Optioneel | Optioneel | |
CCD:Infrarood CCD-camera | CCD:Infrarood CCD-camera | CCD:Infrarood CCD-camera | |
Poort uitbreiden | 2 uitbreidingspoorten op voorbeeldruimte voor: EDS, BSD, WDS enz. |
4 Verleng poorten op voorbeeldruimte voor: BSE, EDS, BSD, WDS enz. |
4 Verleng poorten op voorbeeldruimte voor: BSE, EDS, BSD, WDS enz. |
Specimenstadium | 5 assen podium, 4Auto+1HandleidingControle Reisbereik: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° (handmatig) Aanraakwaarschuwing & stopfunctie |
5 assenAuto MiddenFase Reisbereik: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Aanraakwaarschuwing & stopfunctie Optioneel Model: A63.7080-M5 assenHandleidingFase A63.7080-L5 assenAuto GrootFase |
5 assenAuto GrootFase Reisbereik: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Aanraakwaarschuwing & stopfunctie |
Max. monster | Dia.175mm, Hoogte 35mm | Dia.175mm, Hoogte 20mm | Dia.340mm, Hoogte 50mm |
Afbeeldingssysteem | Echt stilstaand beeld Max. resolutie 4096x4096 pixels, Afbeeldingsbestandsindeling: BMP (standaard), GIF, JPG, PNG, TIF |
Echt stilstaand beeld Max. resolutie 16384x16384 pixels, Afbeeldingsbestandsindeling: TIF (standaard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: automatisch digitale .AVI-video opnemen |
Echt stilstaand beeld Max. resolutie 16384x16384 pixels, Afbeeldingsbestandsindeling: TIF (standaard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: automatisch digitale .AVI-video opnemen |
Computer software | PC Work Station Win 10-systeem, met professionele beeldanalysesoftware om de hele SEM-microscoopbediening volledig te regelen, computerspecificatie niet minder dan Inter I5 3,2 GHz, 4G-geheugen, 24-inch IPS LCD-monitor, 500G harde schijf, muis, toetsenbord | ||
Fotoweergave | Het beeldniveau is rijk en nauwkeurig en toont realtime vergroting, liniaal, spanning, grijze curve | ||
Dimensie & Gewicht |
Microscooplichaam 800x800x1850mm Werktafel 1340x850x740mm Totaal gewicht 400Kg |
Microscooplichaam 800x800x1480mm Werktafel 1340x850x740mm Totaal gewicht 450Kg |
Microscooplichaam 1000x1000x1730mm Werktafel 1330x850x740mm Totaal gewicht 550Kg |
optionele accesoires | |||
optionele accesoires | A50.7002EDS energiedispersieve röntgenspectrometer A50.7011Ionen Sputterende Coater |
A50.7001BSE terugverstrooiingselektronendetector A50.7002EDS energiedispersieve röntgenspectrometer A50.7011Ionen Sputterende Coater A50.7030Bedieningspaneel motoriseren |
A50.7001BSE terugverstrooiingselektronendetector A50.7002EDS energiedispersieve röntgenspectrometer A50.7011Ionen Sputterende Coater A50.7030Bedieningspaneel motoriseren |
A50.7001 | BSE-detector | Halfgeleider vier segmenten terugverstrooiingsdetector; Verkrijgbaar in ingrediënten A+B, morfologie Info AB; Beschikbaar monster observeren zonder goud te sputteren; Beschikbaar in Observeer onzuiverheid en distributie rechtstreeks van de grijswaardenkaart. |
A50.7002 | EDS (röntgendetector) | Siliciumnitride (Si3N4) venster om röntgentransmissie met lage energie te optimaliseren voor analyse van lichte elementen; Uitstekende resolutie en hun geavanceerde ruisarme elektronica zorgen voor uitstekende doorvoerprestaties; De kleine voetafdruk biedt flexibiliteit om ideale geometrie en Aata-inzamelingsvoorwaarden te garanderen; De detectoren bevatten een chip van 30 mm2. |
A50.7003 | EBSD (elektronenbundel terugverstrooide diffractie) | gebruiker kan kristaloriëntatie, kristalfase en microtextuur van materialen en gerelateerde materialenprestaties analyseren, enz. automatische optimalisatie van EBSD-camera-instellingen doe tijdens de gegevensverzameling interactieve realtime analyse om maximale informatie te verkrijgen alle gegevens zijn gebrandmerkt met een tijdlabel, dat op elk moment kan worden bekeken hoge resolutie 1392 x 1040 x 12 Scan- en indexsnelheid: 198 punten / sec, met Ni als standaard, onder de voorwaarde van 2 ~ 5nA, kan het indexpercentage ≥99% garanderen; werkt goed onder de conditie van dimlichtstroom en laagspanning van 5kV bij 100pA oriëntatie meetnauwkeurigheid: beter dan 0,1 graden Triplex-indexsysteem gebruiken: u hoeft niet te vertrouwen op een enkele banddefinitie, eenvoudige indexering van slechte patroonkwaliteit speciale database: EBSD speciale database verkregen door elektronendiffractie:> 400 fasestructuur Indexvermogen: het kan automatisch alle kristalmaterialen van 7 kristalsystemen indexeren. De geavanceerde opties omvatten het berekenen van elastische stijfheid (elastische stijfheid), Taylor (Taylor) factor, Schmidt (Schmid) factor enzovoort. |
A50.7010 | Coatingmachine | Glasbeschermende schaal: ∮250 mm;340 mm hoog; Glasverwerkingskamer: ∮88 mm;140 mm hoog, ∮88 mm;57 mm hoog; Grootte monsterpodium: ∮40 mm (max); Vacuümsysteem: molecuulpomp en mechanische pomp; Vacuümdetectie: Pirani Gage; Vacuüm: beter dan 2 X 10-3 Pa; Vacuümbescherming: 20 Pa met opblaasventiel op microschaal; Specimenbeweging: vliegtuigrotatie, kantelprecessie. |
A50.7011 | Ionen Sputterende Coater | Glasverwerkingskamer: ∮100 mm;130 mm hoog; Specimen Stage Maat: ∮40mm (Houd 6 Specimen Cups); Gouden doelmaat: ∮58 mm * 0,12 mm (dikte); Vacuümdetectie: Pirani Gage; Vacuümbescherming: 20 Pa met opblaasventiel op microschaal; Medium gas: argon of lucht met argongas Speciale luchtinlaat en gasregulerend op microschaal. |
A50.7012 | Argon Ionen Sputterende Coater | Het monster werd geplateerd met koolstof en goud onder hoog vacuüm; Draaibare monstertafel, uniforme coating, deeltjesgrootte ongeveer 3-5 nm; Geen selectie van doelmateriaal, geen schade aan monsters; De functies van ionenreiniging en ionverdunning kunnen worden gerealiseerd. |
A50.7013 | Kritische puntdroger | Binnendiameter: 82 mm, binnenlengte: 82 mm; Drukbereik: 0-2000psi; Temperatuurbereik: 0°-50° C (32°-122° F) |
A50.7014 | Elektronenstraallithografie | Op basis van een scanning-elektronenmicroscoop werd een nieuw nano-belichtingssysteem ontwikkeld; De modificatie heeft alle Sem-functies behouden voor het maken van een lijnbreedte op nanoschaal; Het gemodificeerde Ebl-systeem op grote schaal toegepast in micro-elektronische apparaten, opto-elektronische apparaten, Quantun-apparaten, micro-elektronicasysteem R&D. |
A63.7080, A63.7081 Standaard uitrusting voor verbruiksartikelen | |||
1 | Veldemissiefilament | Geïnstalleerd in Microscoop | 1 stuk |
2 | Voorbeeldbeker | Dia.13mm | 5 stuks |
3 | Voorbeeldbeker | Dia.32mm | 5 stuks |
4 | Carbon dubbelzijdig geleidende tape | 6 mm | 1 pakket |
5 | Vacuüm vet | 10 stuks | |
6 | Haarloze doek | 1 buis | |
7 | Polijstpasta | 1 stuk | |
8 | Voorbeelddoos | 2 tassen | |
9 | Wattenstaafje | 1 stuk | |
10 | Olienevelfilter | 1 stuk | |
A63.7080, A63.7081 Standaarduitrusting voor gereedschap en onderdelen | |||
1 | Binnenzeskantsleutel | 1.5mm~10mm | 1 reeks |
2 | Pincet | Lengte 100-120 mm | 1 stuk |
3 | Sleufschroevendraaier | 2*50mm, 2*125mm | 2 stuks |
4 | Kruisschroevendraaier | 2*125 mm | 1 stuk |
5 | Ontluchtingspijp reinigen | Dia.10 / 6.5 mm (buitendiameter / binnendiameter) | 5m |
6 | Ontlucht drukreduceerventiel | Uitgangsdruk 0-0,6 MPa | 1 stuk |
7 | Interne bakvoeding | 0-3A gelijkstroom | 2 stuks |
8 | UPS-voeding | 10kVA | 2 stuks |