A63.7069 Software Hoofdfunctie | ||
Hoge drukregelgeving | Verticaal lijnaftasten | Potentiële verschuivingsregelgeving |
Gloeidraad huidige regelgeving | Condensatoraanpassing | Multischaalmeting |
Astigmatische aanpassing | Elektrische aan centrale aanpassing | Automatisch helderheid/contrast |
Helderheidsaanpassing | Objectieve lensaanpassing | Autonadruk |
Contrastaanpassing | Fotovoorproef | Automatische astigmatismeverwijdering |
Vergrotingsaanpassing | Actieve heerser | Automatische gloeidraadaanpassing |
De geselecteerde wijze van het gebiedsaftasten | 4 aftastensnelheid het plaatsen | Beheer van parameters |
De wijze van het puntaftasten | Objectieve lensinversie | Beeldmomentopname, beeld het bevriezen |
Oppervlakteaftasten | Condensatoromkering | Één Zeer belangrijke Snelle weergave |
Horizontale lijnaftasten | Elektrische omwentelingsaanpassing |
SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
Resolutie | 3nm@30KV (SE) 6nm@30KV (BSE) |
1.5nm@30KV (SE) 3nm@30KV (BSE) |
1.0nm@30KV (SE) 3.0nm@1KV (SE) 2.5nm@30KV (BSE) |
Vergroting | 8x~300000x verbied Ware Vergroting | 8x~800000x verbied Ware Vergroting | 6x~1000000x verbied Ware Vergroting |
Elektronenkanon | De pre-gecentreerde Patroon van de Wolframgloeidraad | Schottky-het Kanon van de Gebiedsemissie | Schottky-het Kanon van de Gebiedsemissie |
Voltage | Het versnellende Voltage 0~30KV, Ononderbroken Regelbaar, past Stap 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV aan | ||
Snelle weergave | Één Zeer belangrijke Functie van het Snelle weergavebeeld | N/A | N/A |
Lenssysteem | Drie-niveaus Elektromagnetische Verminderde Lens | Multi-niveaus Elektromagnetische Verminderde Lens | |
Opening | 3 demonteren de molybdeen Objectieve Openingen, Regelbaar buiten Vacuümsysteem, Geen Behoefte Doelstelling om Opening te veranderen | ||
Vacuümsysteem | 1 turbo Moleculaire Pomp 1 mechanische Pomp Steekproefzaal Vacuum>2.6E-3Pa De Zaal Vacuum>2.6E-3Pa van het elektronenkanon Volledig Auto Vacuümcontrole Vacuümkoppelingsfunctie Facultatief Model: A63.7069-LV 1 turbo Moleculaire Pomp 2 mechanische Pompen Steekproefzaal Vacuum>2.6E-3Pa De Zaal Vacuum>2.6E-3Pa van het elektronenkanon Volledig Auto Vacuümcontrole Vacuümkoppelingsfunctie Lage Vacuümwaaier 10~270Pa voor Snelle Schakelaar in de Seconden van 90 voor BSE (LV) |
1 Ion Pump Set 1 turbo Moleculaire Pomp 1 mechanische Pomp Steekproefzaal Vacuum>6E-4Pa De Zaal Vacuum>2E-7 van het elektronenkanon Pa Volledig Auto Vacuümcontrole Vacuümkoppelingsfunctie |
1 sputter Ion Pump 1 vangstof Ion Compound Pump 1 turbo Moleculaire Pomp 1 mechanische Pomp Steekproefzaal Vacuum>6E-4Pa De Zaal Vacuum>2E-7 van het elektronenkanon Pa Volledig Auto Vacuümcontrole Vacuümkoppelingsfunctie |
Detector | SE: Hoge Vacuüm Secundaire Elektronendetector (met Detectorbescherming) | SE: Hoge Vacuüm Secundaire Elektronendetector (met Detectorbescherming) | SE: Hoge Vacuüm Secundaire Elektronendetector (met Detectorbescherming) |
BSE: Halfgeleider 4 Segmentatie Achter Verspreidende Detector Facultatief Model: A63.7069-LV BSE (LV): Halfgeleider 4 Segmentatie Achter Verspreidende Detector |
Facultatief | Facultatief | |
CCD: Infrarode CCD-Camera | CCD: Infrarode CCD-Camera | CCD: Infrarode CCD-Camera | |
Breid Haven uit | 2 breid Havens op Steekproefzaal voor uit EDS, BSD, WDS ENZ. |
4 breid Havens op Steekproefzaal voor uit BSE, EDS, BSD, WDS ENZ. |
4 breid Havens op Steekproefzaal voor uit BSE, EDS, BSD, WDS ENZ. |
Specimenstadium | 5 assenstadium, Handcontrole 4 Auto +1 Reiswaaier: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° (Hand) Van het aanrakingsalarm & Einde Functie |
5 assen Auto Middenstadium Reiswaaier: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Van het aanrakingsalarm & Einde Functie Facultatief Model: A63.7080-m 5 Assen Handstadium A63.7080-l 5 Assen Auto Groot Stadium |
5 assen Auto Groot Stadium Reiswaaier: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Van het aanrakingsalarm & Einde Functie |
Max Specimen | Dia.175mm, Hoogte 35mm | Dia.175mm, Hoogte 20mm | Dia.340mm, Hoogte 50mm |
Beeldsysteem | De echte nog Pixel van Beeldmax resolution 4096x4096, Afbeeldingsbestandformaat: BMP (Gebrek), GIF, JPG, PNG, TIF |
De echte nog Pixel van Beeldmax resolution 16384x16384, Afbeeldingsbestandformaat: TIF (Gebrek), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Auto Digitaal Verslag. AVI Video |
De echte nog Pixel van Beeldmax resolution 16384x16384, Afbeeldingsbestandformaat: TIF (Gebrek), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Auto Digitaal Verslag. AVI Video |
Computer & Software | PC-Werkplekwinst 10 Systeem, met de Professionele Software van de Beeldanalyse Geheel SEM Microscope Operation, Computerspecificatie niet minder dan Interi5 3.2GHz, 4G-Geheugen,“ IPS 24 LCD Monitor, 500G-Harde schijf, Muis, Toetsenbord volledig om te controleren | ||
Fotovertoning | Het Beeldniveau is Rich And Meticulous, die Vergroting In real time, Heerser, Voltage, Gray Curve tonen | ||
Afmeting & Gewicht |
Microscooplichaam 800x800x1850mm Werkende Lijst 1340x850x740mm Totaal Gewicht 400Kg |
Microscooplichaam 800x800x1480mm Werkende Lijst 1340x850x740mm Totaal Gewicht 450Kg |
Microscooplichaam 1000x1000x1730mm Werkende Lijst 1330x850x740mm Totaal Gewicht 550Kg |
Facultatieve Toebehoren | |||
Facultatieve Toebehoren | A50.7002 EDS Spectrometer van de Energie de Verbrokkelde Röntgenstraal A50.7011 Ion Sputtering Coater |
A50.7001 BSE Achter Verspreidende Elektronendetector A50.7002 EDS Spectrometer van de Energie de Verbrokkelde Röntgenstraal A50.7011 Ion Sputtering Coater A50.7030 motoriseer Configuratiescherm |
A50.7001 BSE Achter Verspreidende Elektronendetector A50.7002 EDS Spectrometer van de Energie de Verbrokkelde Röntgenstraal A50.7011 Ion Sputtering Coater A50.7030 motoriseer Configuratiescherm |
A50.7001 | BSE Detector | Halfgeleider Vier Segment Achter Verspreidende Detector; Beschikbaar in Ingrediënten A+B, de Morfologieinformatie ab; De beschikbare Steekproef neemt zonder Goud waar Te sputteren; Beschikbaar neem binnen Onzuiverheid en Distributie direct van Grayscale-Kaart waar. |
A50.7002 | EDS (X Ray Detector) | Het Venster van het siliciumnitride (Si3N4) om de Lage Transmissie van de Energieröntgenstraal voor Lichte Elementenanalyse te optimaliseren; De uitstekende Resolutie en Hun Geavanceerde Elektronika Met geringe geluidssterkte verstrekken Opmerkelijke Productieprestaties; De Kleine Voetafdruk biedt Flexibiliteit aan om Ideale Meetkunde en Aata-Inzamelingsvoorwaarden te verzekeren; De Detectors bevatten een 30mm2-Spaander. |
A50.7003 | EBSD (Elektronenstraal Omgekeerde Diffractie) | de gebruiker kon de richtlijn van het analysekristal, kristalfase en micro- textuur van materialen en verwante materialenprestaties, enz. automatische optimalisering van EBSD-cameramontages tijdens de gegevensverzameling, maak interactieve analyse in real time om maximuminformatie te verkrijgen alle gegevens werden gebrandmerkt met tijdmarkering, die kan op elk ogenblik worden bekeken hoge resolutiex12 1392 x 1040 Aftasten en indexsnelheid: 198 punten/seconden, met Ni als norm, op de voorwaarde van 2~5nA, het kunnen indextarief ≥99% verzekeren; de werken goed op de voorwaarde van laag straal huidig en laag voltage van 5kV bij 100pA richtlijn die nauwkeurigheid meten: Dan beter 0,1 graden Het gebruiken van triplex indexsysteem: geen behoefte baseert zich op enige banddefinitie, het gemakkelijke indexeren van slechte patroonkwaliteit specifieke database: De speciale die database van EBSD door elektronendiffractie wordt verkregen: >400 fasestructuur Indexcapaciteit: het kan alle kristalmaterialen van 7 kristalsystemen automatisch indexeren. De geavanceerde opties omvatten etc. het berekenen elastische stijfheid (Elastische Stijfheid), Taylor (Taylor) factor, Schmidt (Schmid) factor. |
A50.7010 | Deklaagmachine | Glas die Shell beschermen: ∮250mm; Hoge 340mm; De Kamer van de glasverwerking: ∮88mm; Hoge 140mm, ∮88mm; Hoge 57mm; De Grootte van het specimenstadium: (maximum) ∮40mm; Vacuümsysteem: moleculapomp en Mechanische Pomp; Vacuümopsporing: Piranipand; Vacuüm: dan 2 X 10-3 beter Pa; Vacuümbescherming: 20 pa met de Klep van de Micro-schaalinflatie; Specimenbeweging: Vliegtuigomwenteling, schuine standprecession. |
A50.7011 | Ion Sputtering Coater | De Kamer van de glasverwerking: ∮100mm; Hoge 130mm; De Grootte van het specimenstadium: ∮40mm (Greep 6 Specimenkoppen); Gouden Doelgrootte: ∮58mm*0.12mm (dikte); Vacuümopsporing: Piranipand; Vacuümbescherming: 20 pa met de Klep van de Micro-schaalinflatie; Middelgroot Gas: argon of Lucht met van het de Luchtinham en Gas van het Argongas het Speciale Regelen in Micro-schaal. |
A50.7012 | Argon Ion Sputtering Coater | De Steekproef werd geplateerd met Koolstof en Goud onder Hoog Vacuüm; Draaibare Steekproeflijst, Eenvormige Deklaag, Deeltjesgrootte over 3-5nm; Geen Selectie van Doelmateriaal, Geen Schade aan Steekproeven; De Functies van Ion Cleaning And Ion Thinning kunnen worden gerealiseerd. |
A50.7013 | Kritisch puntdroger | Binnendiameter: 82mm, Binnenlengte: 82mm; Drukwaaier: 0-2000psi; Temperatuurwaaier: 0°-50° C (32°-122° F) |
A50.7014 | Elektronenstraallithografie | Gebaseerd op AftastenElektronenmicroscoop, werd een Nieuw nano-Blootstellingssysteem ontwikkeld; Modificaton heeft Al Sem Functions For Making Nanoscale-Beeld van de Lijnbreedte gehouden; Het Systeem Widly van Modificated Ebl was in Micro-electronische Apparaten, Optoelectronic Apparaten, Quantun-Apparaten, O&O van het Micro-elektronicasysteem van toepassing. |
A63.7069 Standaardverbruiksgoederenuitrusting | |||
1 | Wolframgloeidraad | Pre-gecentreerd, Ingevoerd | 1 doos (5 PCs) |
2 | Steekproefkop | Dia.13mm | 5 PCs |
3 | Steekproefkop | Dia.32mm | 5 PCs |
4 | Koolstof Tweezijdige Geleidende Band | 6mm | 1 pakket |
5 | Vacuümvet | 10 PCs | |
6 | Kale Doek | 1 buis | |
7 | Oppoetsend Deeg | 1 PC | |
8 | Steekproefdoos | 2 zakken | |
9 | Katoenen Zwabber | 1 PC | |
10 | De Filter van de oliemist | 1 PC | |
A63.7069 Standaardhulpmiddelen & Delenuitrusting | |||
1 | Binnen Hexagon Moersleutel | 1.5mm~10mm | 1 reeks |
2 | Pincet | Lengte 100120mm | 1 PC |
3 | Ingelaste Schroevedraaier | 2*50mm, 2*125mm | 2 PCs |
4 | Dwarsschroevedraaier | 2*125mmm | 1 PC |
5 | Diafragmavlekkenmiddel | 1 PC | |
6 | Schoonmakende Staaf | 1 PC | |
7 | Het Hulpmiddel van de gloeidraadaanpassing | 1 PC | |
8 | Gloeidraad het Aanpassen Pakking | 3 PC | |
9 | Buistrekker | 1 PC |